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探討高精度低溫恒溫槽的相關設計

日期:2018-08-20瀏覽:170次

   探討高精度低溫恒溫槽的相關設計
  低溫恒溫槽應用廣泛,可應用在:
  對半導體制造裝置發熱部的冷卻:單晶片洗凈轉載、印刷機、自動夾座安裝裝置、噴涂裝置、離子鍍裝置、蝕刻裝置、單晶片處理裝置、切片機、包裝機、顯影劑的溫度管理、露光裝置、生磁部分的加熱裝置等。
  對激光裝置發熱部分的冷卻:激光加工、熔接機的發熱部分、激光標志裝置、發生裝置、二氧化碳激光加工機等。
  其他產業用機器發熱部分的冷卻:等離子熔接、自動包裝機、模具冷卻、洗凈機械、鍍金槽、精密研磨機、射出成型機、樹脂成型機的成型部分等。
  高精度低溫恒溫槽中換熱設備設計準備:
  首先要全面準確地理解設低溫恒溫槽計任務書對設計的要求。掌握工藝生產的某些條件如工作溫度、允許溫差壓力、允許壓降、工作流體的物理和化學性質等。除此之外還應包括設備熱負荷、低溫恒溫槽可以提供的材料、加工條件等方面。這些資料是選型的依據、同時也是熱力計算的前提。
  高精度低溫恒溫槽中換熱設備設計內容:
  1.根據設計的任務結合各類低溫恒溫槽換熱設備的結構和特點。選定設備形式必要時可同時選取幾種形式進行初步結構設計,通過技術經濟等綜合比較確定最終形式。
  2.根據選定的初步結構形式以及其他參數,低溫恒溫槽進行傳熱計算、阻力計算以及強度計算。計算結果應使結構設計的傳熱面積與傳熱計算的傳熱面積相比有10%-20%的裕量,而計算壓陣小于允許壓降。在進行強度計算時,要特別注意所用材料的溫度特性。許多材料的特性在低溫時與常溫時相差很大,此外設計時還應遵循壓力容器的設計標準和規范。
  3.校核計算。
  4.進行精心的機械設計,低溫恒溫槽包括零部件尺寸的確定和強度鉸核、溫差腕力計算、熱補償力案確定等。

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